大理石氣浮隔振平臺(tái)如何重塑精密工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)?
日期:2025-09-26 13:59:43
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標(biāo)簽: 大理石氣浮隔振平臺(tái)
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)地震級(jí)突破背后的黑科技 當(dāng)光刻機(jī)以納米級(jí)精度雕刻芯片時(shí),.1毫米的振動(dòng)就可能導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢。2025年,蘇州啟量公司推出的 第六代大理石氣浮隔振平臺(tái) ,以零摩擦懸...
大理石氣浮隔振平臺(tái):精密制造的“隱形守護(hù)者”
日期:2025-09-26 13:57:30
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芯片制造的精度革命 在半導(dǎo)體行業(yè),光刻機(jī)涂布誤差需控制在納米級(jí),晶圓檢測(cè)設(shè)備振動(dòng)傳遞率需低于-4dB。傳統(tǒng)金屬平臺(tái)因熱膨脹系數(shù)高、振動(dòng)干擾強(qiáng),已難以滿足先進(jìn)制程需求。而...
大理石氣浮隔振平臺(tái):讓精密制造“懸浮”在納米級(jí)精度之上
日期:2025-09-26 13:53:23
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氣浮技術(shù)+天然大理石:精密制造的黃金組合 當(dāng)芯片制程突破3nm、航天器對(duì)接精度要求.1m時(shí),傳統(tǒng)金屬平臺(tái)已無法滿足需求。大理石氣浮隔振平臺(tái)以 天然花崗巖/大理石 為基座,結(jié)合 壓...
大理石氣浮隔振平臺(tái)
日期:2020-06-01 16:37:44
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標(biāo)簽: 大理石氣浮平臺(tái) 大理石氣浮平臺(tái)廠家 大理石氣浮隔振平臺(tái)
大理石平臺(tái)參數(shù)性能: 肖氏硬度: Hs7.0 比重: 3000kg/m 抗壓強(qiáng)度: 254N/m 線膨脹系數(shù): 4.61x10^-6/C 吸水率: 0.02% 產(chǎn)品包裝: 木箱包裝 大理石平臺(tái)參數(shù)規(guī)格: 規(guī)格 重量 000級(jí)精度 00級(jí)精度...